场发射电子探针-JXA-iHP200F
发布时间: 2024-03-20 10:08:51来源:上谱分析浏览次数: 0
电子探针显微分析系统(EPMA)
生产厂家: JEOL(日本)              仪器型号: JXA-iHP200F
仪器特色
二次电子像分辨率可达6nm(工作距离11mm);背散射电子像分辨率可达20nm(拓扑像、成分像);加速电压可调范围为0~30kV;束流范围为10-12~10-5A;具有四级物镜可变光栏;图像放大倍数为×40~×300,000,连续可调;电子束位移小于1μm/h;分析元素范围:5B - 92U;X射线出射角为40°;分光晶体有全聚焦型晶体和半聚焦型晶体两种,每道2个晶体,分光晶体交换时间少于1.5秒;罗兰圆半径有100mm和140mm两种;具有反光显微镜,分辨率1μm,放大倍率300倍,可同时显示二次电子像、背散射电子像、彩色光学显微像,还可以得到上述图像的数字化像。
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