电子探针显微分析系统（EPMA）
生产厂家: JEOL（日本）  牛津（英国）           仪器型号: JXA-8230  +  AZtecLive UltimMax 100型高性能能谱仪
仪器特色
二次电子像分辨率可达6nm（工作距离11mm）；背散射电子像分辨率可达20nm（拓扑像、成分像）；加速电压可调范围为0～30kV；束流范围为10-12～10-5A；具有四级物镜可变光栏；图像放大倍数为×40～×300,000，连续可调；电子束位移小于1μm/h；分析元素范围：5B - 92U；X射线出射角为40°；分光晶体有全聚焦型晶体和半聚焦型晶体两种，每道2个晶体，分光晶体交换时间少于1.5秒；罗兰圆半径有100mm和140mm两种；具有反光显微镜，分辨率1μm，放大倍率300倍，可同时显示二次电子像、背散射电子像、彩色光学显微像，还可以得到上述图像的数字化像。